EDS搭載走査型電子顕微鏡

日本電子製JSM-6010LA



走査電子顕微鏡(SEM)は,細く絞った電子線を試料表面にXY方向に二次元走査し,そこから発生する様々な信号を用いて,表面構造の観察や組成の分析などを行う装置です。電子線を照射し、二次電子の強度から表面状態を観察(~数万倍)、反射電子より組成像、凹凸像の観察もできます。

また、搭載されたエネルギー分散型X線分析装置(EDS)により、電子線にて励起された特性X線を検出することにより、含有元素、およびその組成比を特定します。電子線を走査してX線を収集しますので、微小部の点分析、線分析、元素分布(面分析)などの分析が可能です。

各種分析事例

  • 異物混入分析
  • めっき厚さ測定
  • 錆発生時期調査
  • 各種供排水管の腐食調査
  • 事故車両における錆の解析
  • 飛来物による汚染事故調査
  • 建物モルタル表面の白色粉状異物調査(EPMA)

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