弊社のEPMA(日本電子社製：JXA-8230RL)は、数μmの微小領域から数十mmの広い領域について軽元素からウランまで（5B～92U）高感度分析が可能です（検出下限は軽元素が0.1wt%、その他の元素が0.005wt%）。また、鉱物や合金層について、組成比の異なる化合物層の分布状態が分かる相分析といった特殊機能を装備していますので、複合材料の評価にも対応可能です。カラーチャートを駆使した豊富な化学情報がご提供できます。

• 固体であり、100㎜×100㎜厚さ20㎜以下のもの。（大きい場合は切断します）
• 電気伝導性を有すること。
  （導電性がない場合は、金、カーボン等をコーティングすれば分析可能です）
• 揮発性成分を含む場合は、前処理が必要です。
• 分析面は平滑がベストです。（2mm以上の凹凸が有る場合は、切断あるいは研磨します）

図-1に電子線照射によるX線の発生概念と図-2にEPMA装置のX線検出概念を示しますが、10～30kVに加速された電子を固体の表面に照射すると、原子の内殻準位にホールが生じ、そのホールに上位の電子が入り込む際に準位間の結合エネルギー差に等しいエネルギーを有する特性X線が発生します。このX線の波長あるいはエネルギーおよびX線強度を測定することにより、電子が照射された部分の構成元素とそれらの組成分析ができます。