走査電子顕微鏡(SEM)は,細く絞った電子線を試料表面にXY方向に二次元走査し,そこから発生する様々な信号を用いて,表面構造の観察や組成の分析などを行う装置です。電子線を照射し、二次電子の強度から表面状態を観察（～数万倍）、反射電子より組成像、凹凸像の観察もできます。

また、搭載されたエネルギー分散型X線分析装置（EDS）により、電子線にて励起された特性X線を検出することにより、含有元素、およびその組成比を特定します。電子線を走査してX線を収集しますので、微小部の点分析、線分析、元素分布（面分析）などの分析が可能です。