誘導結合プラズマ質量分析装置（ICP-MS）は、溶液試料に含まれる元素を誘導結合プラズマ(ICP)によってイオン化し、質量分析部（MS）で質量/電荷数に応じて分離し、発信強度から定量を行います。金属元素及び非金属元素を含むほとんどすべての元素を同時に測定が可能であり、溶液中濃度でpptレベルの高感度測定からppmレベルまでの広いダイナミックレンジで測定ができます。