イオンミリングは、走査電子顕微鏡(SEM)、電子プローブマイクロアナライザー(EPMA)、オージェマイクロプローブ(Auger)のための断面試料作製装置です。
この装置はAr+イオンビームと遮蔽(しゃへい)板を用いて試料の断面を加工する断面試料作製装置です。これまで経験を必要とした他の手法に比べ、個人差が無く質の良い断面を短時間で得る事ができます。
イオンミリングは金属、セラミックス、プラスチック等、様々な材料で断面加工をすることが可能です。

イオンミリングが有効な観察試料は以下のものがあります。

• 硬度に差がある試料 ： めっき、多層塗膜等
• 隙間有や多孔質な試料　： 木材、多孔質材
• 脱落が懸念される試料　  ： 異物調査
• 接合が剥離しやすい試料： 薄膜、基板等