主に溶液試料に含まれる測定対象元素を誘導結合プラズマ(ICP)によって気化励起し、得られる原子の発光スペクトルの波長から元素の同定を、強度から元素濃度を定量します。溶液試料はネブライザーで噴霧し、スプレーチャンバーで粒度分別して、微細なエアロゾルをアルゴンガス流でICPトーチに導入します。ICPは発光分析光源として、一般重金属から希土類元素の分析に適する70以上の元素を同時に効率よく励起でき、高感度、検量線の直線範囲が広い、などの点で優れています。溶液中濃度でppbレベルの高感度測定から、1000ppmオーダーまでの広いダイナミックレンジでの測定が可能です。