シリコンウエハ表面上の自然酸化膜や熱酸化膜をテフロン製の密閉容器内でフッ化水素酸の蒸気で溶解させた後、希フッ化水素酸や酸化剤を添加した溶液などでシリコンウエハ表面上を走査し、金属元素を回収する化学的前処理法です。
4インチから12インチまでの大きさのシリコンウエハが対応可能です。
自動回収ですので任意の測定箇所を選択することができます。